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高純度氣體用不鏽鋼管

高純度氣體用不鏽鋼管

産品詳情

        除了惰性氣體,如氮氣和氩氣,許多被稱為特殊氣體的氣體,也用于制造用于高純度氣體的不鏽鋼精拉管的半導體。在半導體或液晶顯示器制造領域,器件集成度近年來有所提高。在VLSI器件的制造中,1微米或更小的精細圖案是必要的。在這種制造過程中,細塵埃或極少量氣體雜質沉積或吸附布線圖案,導緻電路故障。因此,必須與高純度的氣體和載氣反應,即這些氣體中隻能存在少量的顆粒和氣體雜質。為此,采用不鏽鋼管或含有高純度氣體的不鏽鋼毛細管這種氣體,需要高純度,其内表面作為污染物的排放物,隻有極少量的顆粒和氣體。特殊氣體的例子包括腐蝕性氣體如氯氣、氯化氫和溴化氫,以及化學不穩定氣體如青貯。前者要求氣體的耐腐蝕性,後者要求氣體的非催化性能。

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